詳細介紹:
產品介紹：
KJ-TCVD1600-L80LB3是一個三溫區管式爐CVD系統。爐管直徑為80mm(可根據客戶需求定制)。真空泵采用雙旋轉機械泵，氣體混合系統為4路質量氣體混合系統。該爐工作溫度可達1600℃，真空度可達10pa。屬于CVD系統的一種。zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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3溫區管式CVD系統實拍圖zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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1、發熱元件采用優良MoSi2，爐膛采用陶瓷纖維材料，保溫性能好，經久耐用，抗拉強度高，無雜志，純度高，節能效果明顯。zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2、超溫報警及斷電、漏電保護，運行安全可靠。zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
3、獨立溫控器，30級可編程溫度。zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐產品參數：
| 加熱系統（管式爐） |
| 最高溫度 |
1700 ℃ |
| 工作溫度 |
1600℃ |
| 顯示 |
LED顯示屏 |
| 管徑 |
80mm（外徑）(可根據客戶需求定制) |
| 管材 |
優質鋁管 |
| 熱區長度 |
220+220+220mm（每個熱區之間會有間隙）(可根據客戶需求定制) |
| 加熱元件 |
MoSi2 |
| 加熱速率 |
0-5℃/min |
溫度控制zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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● PID自動通過SCR（可控硅整流器）控制功率，相位角觸發，限流電阻器。zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
● 30個可編程段，用于控制加熱速率、冷卻速率和停留時間。zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
● 內置PID自動調節功能，具有過熱和熱電偶損壞保護功能。zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
● 超溫保護和報警，允許在無人值守的情況下操作。 |
| 熱電偶 |
- 3個熱電偶（測量和溫度控制功能），位于每個熱區的中間（管道外側）
- 1個熱電偶（僅測量溫度），位于管內。
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| 溫控精度 |
±1℃ |
| 爐膛結構 |
- 雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風扇，爐殼溫度低于60℃。
- 一體式不可打開爐門。
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| 真空法蘭 |
帶閥門的不銹鋼真空法蘭 |
| 供氣系統 |
| 4通道質子流量計： |
MFC 1：氣體流量范圍為0~100sccmzrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC 2：控制范圍為0~200 sccmzrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC3：控制范圍為0-500sccmzrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC4：控制范圍為0~200 sccmzrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
一個氣體混合罐安裝在底部殼體上，帶有液體釋放閥zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
底殼左側安裝4個不銹鋼針閥，控制4種氣體混合 |
| 真空泵+真空計系統 |
| 真空泵+真空計 |
配備旋轉葉片泵，使真空度達到10Pa（冷卻狀態） |
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3溫區管式CVD系統實拍圖zrU管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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