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    TEL:191-3809-6664
    滑動PECVD設備
    • 滑動PECVD設備

    滑動PECVD設備

    型號:KJ-T1200-S10LC2-HY
    簡要描述:    此款滑動PECVD設備是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含等離子射頻電源,滑動式雙溫區管式爐,4通道質量流量供氣系統和分子泵機組。可用于生長納米或石墨烯材料。……
    詳細介紹:
    產品用途:PDP管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
        廣泛應用于生長納米或石墨烯材料。PDP管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    PDP管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    產品介紹:PDP管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
        該設備是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含等離子射頻電源,滑動式雙溫區管式爐,4通道質量流量供氣系統和分子泵機組。可用于生長納米或石墨烯材料。PDP管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    PDP管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    技術參數:
    產品名稱 滑動PECVD設備
    滑軌管式爐部分
    產品型號 KJ-T1200-S10LC2-HY
    爐管尺寸 100*長度1600mmPDP管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    可選其他直徑Φ50,60,80,,120,150mm(可根據客戶需求定制)
    爐管材質 石英管
    加熱區 雙溫區,每個溫區長度200mm(可根據客戶需求定制)
    工作溫度 1100℃
    最高溫度 1200℃
    溫控方式 N型熱電偶
    控制方式 觸屏控制
    控溫精度 ±1℃
    溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
    升溫速率 0-20ºC/min可調  ,建議10ºC/min
    加熱元件 含鉬電阻絲
    爐膛材料 氧化鋁多晶纖維
    爐體結構 爐體帶滑軌,可實現快速升溫和降溫
    法蘭接頭 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
    密封系統 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。
    真空系統部分
    主要參數 采用高真空分子泵組,爐管內真空度可達10-3pa
    氣路系統部分
    名稱 四路質量流量計(量程可選)
    等離子電源部分
    功率范圍 0-500W(連續可調)
    售后服務 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質保范圍)
    更多規格可根據客戶需求定制
    可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
    注意事項:
    1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
    2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
    3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
    4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
    售后服務
    • 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
    • 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
    • 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
    • 公司產品獲有歐盟CE質量認證
    免責聲明: 本站產品的介紹內容(包括產品圖片、產品介紹、技術參數等)主要用于產品宣傳,僅供參考。由于產品更新速度快,部分技術參數等內容可能會與實物有所偏差,請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議,或者想了解產品詳細信息及更多參數,請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,請勿將此參數用于招標文件或者合同,我們公司會不定期完善和更新網站信息,恕不另行通知,請您諒解。

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