詳細(xì)介紹:
產(chǎn)品介紹：
1200℃ CVD化學(xué)氣相沉積鍍膜系統(tǒng)工作溫度為300℃至1200℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。更多CVD設(shè)備可點(diǎn)擊更多查看。9rW管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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1200度CVD化學(xué)氣相沉積鍍膜系統(tǒng)實(shí)拍圖9rW管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
9rW管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐產(chǎn)品應(yīng)用：
1200℃ CVD化學(xué)氣相沉積鍍膜系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。9rW管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
9rW管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 |
化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
| 產(chǎn)品型號 |
KJ-TCVD1200-S80LK1 |
| 管式爐部分 |
| 爐膛模式 |
開啟式 |
| 顯示模式 |
LED |
| 爐膛材料 |
氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 |
合金加熱絲 |
| 極限溫度 |
1200℃ |
| 工作溫度 |
≤1100℃ |
| 升溫速率 |
0-10℃/min |
| 加熱溫區(qū) |
單溫區(qū) |
| 溫區(qū)長度 |
440mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 爐管材質(zhì) |
高純石英 |
| 爐管長度約 |
1000mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 密封方式 |
可重復(fù)拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便，密封性好 |
| 控制模式 |
智能PID控制，具有多段可編程控溫和自整定功能 |
| 溫度曲線 |
多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè) |
| 報警 |
有超溫和斷偶報警 |
| 測溫元件 |
N型熱電偶 |
| 供氣系統(tǒng) |
| 流 量 計 |
三路質(zhì)量流量計（量程可根據(jù)需要選擇） |
| A路量程 氮?dú)?/span> |
0～1000SCCM |
| B路量程 甲烷 |
0～500SCCM |
| C路量程 乙烯 |
0～1000SCCM |
| 混氣 |
內(nèi)含一個精密混氣罐 |
| 工作環(huán)境溫度 |
5℃-45℃ |
| 真空系統(tǒng)(含不銹鋼波紋管和相關(guān)連接配件) |
| 真空泵抽速 |
2L/S抽速的機(jī)械旋片泵、波紋管及相關(guān)連接件，極限真空可實(shí)現(xiàn)10pa |
| 數(shù)顯真空計 |
數(shù)顯電阻真空計集成在可移動供氣系統(tǒng)箱體上 |
| 配用規(guī)管 |
電阻規(guī) |
| 測量范圍 |
1.0×105—1.0×10-1 (Pa) |
| 測量精度 |
±10% |
| 零點(diǎn)漂移 |
±2% |
| 測量路數(shù) |
1路 |
| 顯示路數(shù) |
1個窗口 |
| 顯示方式 |
五位LED數(shù)字顯示，采用科學(xué)計數(shù)法，例：1.2E－1，表示為1.2×10-1Pa |
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可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。
注意事項(xiàng)：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；
3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的咨詢、維修服務(wù)
- 公司提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)，可提供技術(shù)人員上門服務(wù)
- 每臺爐子出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品
- 公司產(chǎn)品獲有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證
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