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    TEL:191-3809-6664
    雙爐體CVD系統
    • 雙爐體CVD系統

    雙爐體CVD系統

    型號:KJ-T1200-W2
    簡要描述:    該雙爐體CVD系統為定制款,適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。……
    詳細介紹:
    產品介紹:RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
        該雙爐體CVD系統為定制款,適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    產品特點:RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    1、控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    2、氣路快速連接法蘭結構采用本公司獨有的知識產權專利設計,提高操作便捷性。RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    3、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    參數詳情:
    產品型號 KJ-T1200-W2
    管式爐部分
    爐體結構 雙層殼體結構,配有冷風系統自動降溫爐殼溫度不超過45℃
    爐膛材質 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
    最高溫度 1200℃
    使用溫度 ≤1100℃
    升溫速度 推薦≤10℃/min,最快升溫速度20℃/min
    爐管材料 石英管
    爐管尺寸  OD:50mm*ID:44mm* 長1400mmRAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    管子中間部位開15mm,有個堵塞可堵上(可根據客戶需求定制)
    加熱區長度 200mm+200mm(雙爐體)(可根據客戶需求定制)
    爐膛開口 每個爐膛對應開寬10mm*長80mm的孔,并可封堵(可根據客戶需求定制)
    法蘭 不銹鋼密封法蘭,拆卸方便,法蘭上裝有精密針閥
    溫控系統 溫度控制系統采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能,并可編制30段升降溫程序;RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    1、采用PID方式調節控溫,可設置30段升降溫程序RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    2、控溫精度±1ºC RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    3、具有過溫保護、斷偶保護RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    4、儀表具有溫度自整定的功能
    加熱元件 合金電阻絲
    測溫元件 2支N型熱電偶分別獨立控溫
    進出氣口 法蘭上含有進出氣口和精密針閥
    氣路系統部分
    質量流量計 二路精密質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制。RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    MFC1 N2 范圍: 0-1000 sccmRAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    MFC2 CO2范圍: 0-1000 sccmRAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    氣路:2路RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    流量精度: 0.2%RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    進氣和出氣接口: 1/4" 卡套RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量。
    標準配置 主機1臺,流量計1套、密封法蘭1對,石英管1支,密封圈4個,爐堵2個,坩堝鉤1把,高溫手套1副、拆卸扳手2把、說明書1份、合格證保修卡1份
    RAD管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     
    可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
    注意事項:
    1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
    2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
    3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
    4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
    售后服務
    • 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
    • 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
    • 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
    • 公司產品獲有歐盟CE質量認證
    免責聲明: 本站產品的介紹內容(包括產品圖片、產品介紹、技術參數等)主要用于產品宣傳,僅供參考。由于產品更新速度快,部分技術參數等內容可能會與實物有所偏差,請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議,或者想了解產品詳細信息及更多參數,請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,請勿將此參數用于招標文件或者合同,我們公司會不定期完善和更新網站信息,恕不另行通知,請您諒解。

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