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    TEL:191-3809-6664
    高溫化學氣相沉積系統
    • 高溫化學氣相沉積系統

    高溫化學氣相沉積系統

    型號:KJ-CVD-1700-60*300-F3
    簡要描述:    該高溫化學氣相沉積系統的工作溫度為300℃至1600℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用優良的溫度控制系統,高溫精度,出色的氣體流量精度,易于操作,出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學,科研機構和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。……
    詳細介紹:
    產品介紹:Af8管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
        該高溫化學氣相沉積系統的工作溫度為300℃至1600℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用優良的溫度控制系統,高溫精度,出色的氣體流量精度,易于操作,出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學,科研機構和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。Af8管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     Af8管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    技術參數:
    產品名稱 高溫化學氣相沉積系統
    產品型號 KJ-CVD-1700-60*300-F3
    加熱部分 顯示 LED
    最高溫度 1700℃
    工作溫度 ≤1600℃
    升溫速率 建議: 0~15℃/min (max. 20℃/min)
    加溫溫區 300mm(可根據客戶需求定制)
    加熱元件 硅鉬棒
    熱電偶 B 型
    控溫精度 ±1℃
    爐管尺寸 60 x 900mm(可根據客戶需求定制)
    剛玉管
    溫度控制 PID自動控制
    升溫速率 30段可編程
    最大工作壓力 0.02MPa
    真空部分 真空泵總成Af8管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     Af8管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    (旋轉葉片泵+擴散泵)Af8管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     Af8管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    包括KF25、KF50適配器、用于真空泵組的波紋管和帶輪子的移動柜。
    真空測量 復合真空計。
    真空法蘭 帶閥和針的不銹鋼真空法蘭
    質量流量計(3條氣體路線Ar、H2、CH4) 流量范圍 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
    準確度 ±1.5 % F.S.
    響應時間 ≦10sec
    工作壓力差范圍 0.1~0.5MPa
    耐壓性 3MPa
    工作環境溫度 5~45℃
     Af8管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     
    可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
    注意事項:
    1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
    2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
    3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
    4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
    售后服務
    • 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
    • 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
    • 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
    • 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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