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1200雙溫區觸摸屏CVD系統

型號:KJ-T1200

簡要描述: KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備60mm直徑氧化鋁管、真空泵和四通道質量流量計+一個浮子流量計氣體流動系統。……

詳細介紹:

簡介：
KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備60mm直徑氧化鋁管、真空泵和四通道質量流量計+一個浮子流量計氣體流動系統。它可以混合1-4種氣體用于CVD或擴散。

技術參數：

模型		KJ-T1200
第一部分：標準件
管式爐	展示	LED類型
	溫度	1200℃
	工作溫度	≤1100℃
	升溫速率	建議：0~10℃/min
	溫區	300mm + 300mm 雙區(可根據客戶需求定制)
	加熱元件	電阻絲
	熱電偶	N型
	溫度控制精度	±1℃ ()
	管尺寸	60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L)(可根據客戶需求定制)
	管尺寸	材質：石英管
	溫度控制	通過可控硅功率控制進行PID自動控制
	加熱曲線	30 步可編程
	真空法蘭	不銹鋼真空法蘭。法蘭的一端有 2 個帶倒鉤的針閥，裝有機械壓力表。法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口
	真空泵	旋片真空泵	極限真空 10 ^-3 Torr。管內的真空度約為 10 ^-1 Torr。（RM溫度和空管條件）流量：2.6 L / S （泵照片僅供參考，實際外觀取決于最終設計）旋片真空泵將設計成帶輪子的推車。帶連接附件包括數字真空計 3.8x10 ^-5 至 1125 Torr 測量范圍耐腐蝕，與氣體類型無關
帶液晶觸摸屏控制器的定制質量流量計（七星級品牌）	一個浮子流量計 + 四個精密質量流量計： MFC 精度為：±1.5% FS MFC 1 用于氮氣：氣體流量范圍為 0~100 sccm 氫氣 MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3 用于甲烷：氣體流量范圍 0~100 sccm 氬氣 MFC 4：氣體流量范圍 0~100 sccm 氧氣 MFC 5：氣體流量范圍 0~100 sccm FFC 1 氬氣和氮氣混合氣體：氣體流量范圍 0~100sccm 一種氣體混合罐（僅適用于 5 MFC）安裝在底殼上，5 個不銹鋼針閥安裝在底殼左側，用于手動控制 5 種氣體混合。

可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。

注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
公司產品獲有歐盟CE質量認證

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