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低真空CVD系統(tǒng)

型號:KJ-T1200-S60-CVD

簡要描述: 低真空CVD系統(tǒng)，采用雙層殼體結(jié)構，配有冷風系統(tǒng)自動降溫爐殼溫度不超過45℃，溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，使用日本技術真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡。……

詳細介紹:

產(chǎn)品簡介：
低真空CVD系統(tǒng)，采用雙層殼體結(jié)構，配有冷風系統(tǒng)自動降溫爐殼溫度不超過45℃，溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，使用日本技術真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡。屬于CVD設備的一種。
低真空CVD系統(tǒng)工作溫度為300℃至1200℃，配備真空系統(tǒng)，氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。主要用于大學，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關的實驗與生產(chǎn)。

產(chǎn)品用途：
低真空CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢：
1 、控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。
2、中低真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強，耐沖擊真空泵，防止意外漏氣造成真空泵損壞，延長系統(tǒng)使用壽命。
3、四路精密質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制。
4、不銹鋼密封法蘭，拆卸更加方便，法蘭上裝有可靠針閥。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	低真空CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號	KJ-T1200-S60-CVD
管式爐部分
爐體結(jié)構	雙層殼體結(jié)構，配有冷風系統(tǒng)自動降溫爐殼溫度不超過45℃
爐膛材質(zhì)	日本技術真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
最高溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	1100℃
升溫速度	推薦≤10℃/min，最快升溫速度20℃/min
爐管材料	高純石英管
爐管尺寸	OD:60mm* ID:54mm * 長1200mm 儀器使用前必須放入管堵，防止熱輻射(可根據(jù)客戶需求定制)
加熱區(qū)長度	220+220+220mm(可根據(jù)客戶需求定制)
法蘭	不銹鋼密封法蘭，拆卸方便，法蘭上裝有可靠針閥
溫控系統(tǒng)	溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫，可設置30段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過溫保護、斷偶保護 4、儀表具有溫度自整定的功能
加熱元件	含鉬合金電阻絲
測溫元件	N型熱電偶
進出氣口	法蘭上含有真空連接口，進出氣口
氣路系統(tǒng)部分
質(zhì)量流量計	四路精密質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制。 MFC1 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC2 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC3 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC4 范圍: 0-500 sccm(量程可選) 氣路:4 路流量精度: 0.2%
真空系統(tǒng)部分
真空泵	1.DRV10旋片泵抽速2L/S 2.極限真空度：7*10-2Torr 3.數(shù)顯真空計，實時顯示真空度，真空顯示范圍：1×105--1×10-1pa

低真空CVD系統(tǒng)

可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。

注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的咨詢、維修服務
公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
每臺爐子出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品
公司產(chǎn)品獲有歐盟CE質(zhì)量認證

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