詳細介紹:
產(chǎn)品介紹：yeY管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
KJ-CVD 是一種分體式管式爐，配備 60mm 直徑的石英管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)。 可混合1-6種氣體進行CVD。yeY管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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使用范圍：yeY管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。yeY管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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技術(shù)參數(shù)：yeY管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
| 產(chǎn)品名稱 |
1600 CVD 系統(tǒng) |
| 產(chǎn)品型號 |
KJ-T1600 CVD |
| 第一部分：標準部分 |
| 管式爐 |
顯示 |
LED |
| 爐體 |
分體式和上部可以打開 |
| 最高溫度 |
1600℃ |
| 工作溫度 |
≤1500℃ |
| 升溫速率 |
0~10℃/min |
| 溫區(qū) |
300mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 加熱元件 |
MoSi2加熱元件 |
| 熱電偶 |
B 型 |
| 溫度控制精度 |
±1℃ |
| 爐管 |
80 x 1000mm (OD x minimum L)(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 材質(zhì)：高純氧化鋁管 |
| 溫度控制 |
通過可控硅功率控制進行PID自動控制 |
| 加熱曲線 |
30 步可編程 |
| 真空法蘭 |
帶閥門的不銹鋼真空法蘭 |
| 真空泵系統(tǒng) |
旋片真空泵+擴散真空泵 |
真空泵組：極限真空10-6 Torr。yeY管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
旋片真空泵和擴散真空泵將設(shè)計成推車帶輪子。 |
| 質(zhì)量流量計 |
四個精密質(zhì)量流量計：底殼安裝1個氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝6個不銹鋼針閥，手動控制6種氣體混合yeY管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。
注意事項：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
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- 公司提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)，可提供技術(shù)人員上門服務(wù)
- 每臺爐子出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品
- 公司產(chǎn)品獲有歐盟CE質(zhì)量認證
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