詳細介紹:
產品介紹:Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
KJ-T1600 CVD 是一種管式爐,具有 80mm 直徑的氧化鋁管和三通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
技術參數:
| 產品名稱 |
3通道CVD設備 |
| 型號 |
KJ-T1600-3M |
| 管式爐部分 |
顯示 |
液晶觸摸屏 |
| 最高溫度 |
1600℃ |
| 工作溫度 |
≤1500℃ |
| 升溫速率 |
0~10℃/min |
| 溫區 |
300mm(可根據客戶需求定制) |
| 加熱元件 |
MoSi2 |
| 熱電偶 |
B型 |
| 溫度控制精度 |
±1℃ |
| 爐管尺寸 |
80x1000mm(可根據客戶需求定制) |
材質:氧化鋁管Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 |
| 塞磚 |
包括兩個纖維陶瓷塊,用于阻擋來自管內的熱輻射(陶瓷塊必須在加熱前完全插入爐腔)。Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 |
| 溫度控制 |
PID自動控制 |
| 真空法蘭 |
帶閥門的不銹鋼真空法蘭 |
質量流量計Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 (液晶觸摸屏) |
三臺精密質量流量計: MFC 1:氣體流量范圍0~100 sccm MFC 2:氣體流量范圍0~200 sccm MFC 3:氣體流量范圍0~200 sccm (氣體流量范圍可根據您的要求) 底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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| 更多參數可按需定制 |
可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
注意事項:
1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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