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    TEL:191-3809-6664
    3通道CVD設備
    • 3通道CVD設備

    3通道CVD設備

    型號:KJ-T1600 -3M
    簡要描述:    KJ-T1600 CVD 是一種管式爐,具有 80mm 直徑的氧化鋁管和三通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。……
    詳細介紹:
    產品介紹:Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
        KJ-T1600 CVD 是一種管式爐,具有 80mm 直徑的氧化鋁管和三通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    技術參數:
    產品名稱 3通道CVD設備
    型號 KJ-T1600-3M
    管式爐部分 顯示 液晶觸摸屏
    最高溫度 1600℃
    工作溫度 ≤1500℃
    升溫速率 0~10℃/min
    溫區 300mm(可根據客戶需求定制)
    加熱元件 MoSi2
    熱電偶 B型
    溫度控制精度 ±1℃
    爐管尺寸 80x1000mm(可根據客戶需求定制)
    材質:氧化鋁管Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     
    塞磚 包括兩個纖維陶瓷塊,用于阻擋來自管內的熱輻射(陶瓷塊必須在加熱前完全插入爐腔)。Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     
    溫度控制 PID自動控制
    真空法蘭 帶閥門的不銹鋼真空法蘭
    質量流量計Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    (液晶觸摸屏)
    三臺精密質量流量計: MFC 1:氣體流量范圍0~100 sccm MFC 2:氣體流量范圍0~200 sccm MFC 3:氣體流量范圍0~200 sccm (氣體流量范圍可根據您的要求) 底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    Dwa管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     
    更多參數可按需定制
    可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
    注意事項:
    1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
    2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
    3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
    4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
    售后服務
    • 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
    • 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
    • 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
    • 公司產品獲有歐盟CE質量認證
    免責聲明: 本站產品的介紹內容(包括產品圖片、產品介紹、技術參數等)主要用于產品宣傳,僅供參考。由于產品更新速度快,部分技術參數等內容可能會與實物有所偏差,請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議,或者想了解產品詳細信息及更多參數,請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,請勿將此參數用于招標文件或者合同,我們公司會不定期完善和更新網站信息,恕不另行通知,請您諒解。
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