詳細介紹:
產品介紹: La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
KJ-T1200 CVD是一種管式爐,配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴散。La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
技術參數:
La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 產品名稱 |
11200度CVD設備 |
| 型號 |
KJ-T1200 |
| 第一部分:標準件 |
| |
顯示 |
液晶觸摸屏 |
| 最高溫度 |
1200℃ |
| 工作溫度 |
≤1100℃ |
| 升溫速率 |
0~10℃/min |
| 溫區長度 |
440mm(可根據客戶需求定制) |
| 加熱元件 |
鉬電阻絲 |
| 熱電偶 |
NK型 |
| 溫度控制精度 |
±1℃ |
| 爐管 |
100 x 1000mm (OD x minimum L)(可根據客戶需求定制) |
材質:石英管La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 |
| 溫度控制 |
通過可控硅功率控制進行PID自動控制 |
| 加熱曲線 |
30 步可編程 |
| 真空法蘭 |
不銹鋼真空法蘭。La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 法蘭的一端有 1 個帶刺針閥,安裝有機械壓力表。La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 |
| 真空泵 |
旋片真空泵 |
極限真空 10-3 托。La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 管內的真空度約為 10-1 Torr。La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 (RM溫度和空管條件)La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 流量:2L/SLa9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 旋片真空泵將被設計成帶輪子的推車。 帶連接附件La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 包括數字真空計 |
質量流量計La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 帶液晶觸摸屏控制器La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 |
一個浮子流量計+五個精密質量流量計:La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 MFC 精度為:±1.5% F.S.La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 MFC 1 用于氮氣:氣體流量范圍為 0~100 sccmLa9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 氫氣用 MFC 2:氣體流量范圍 0~200 sccmLa9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccmLa9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 氬氣用 MFC 4:氣體流量范圍 0~400 sccmLa9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 氧氣用 MFC 5:氣體流量范圍 0~500 sccmLa9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 一個氣體混合罐(僅適用于5 MFC)安裝在底殼上,4個不銹鋼針閥安裝在底殼左側,用于手動控制4種氣體混合。La9管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 |
可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
注意事項:
1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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