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    TEL:191-3809-6664
    三溫區CVD設備
    • 三溫區CVD設備

    三溫區CVD設備

    型號:KJ-OTF-1700-F5
    簡要描述:    此款三溫區CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。……
    詳細介紹:
    產品特點:Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    1、 控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    2、 中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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    產品用途:Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    此款三溫區CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
     Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    產品詳情:
    名稱 高溫三溫區CVD設備
    型號 KJ-OTF-1700-F5
    加熱系統 顯示 LED
    最高溫度 1700℃
    工作溫度 ≤1600℃
    升溫速率 0~15℃/min
    溫區 3(可根據客戶需求定制)
    溫區長度 220mm(可根據客戶需求定制)
    加熱元件 MoSi2 棒
    熱電偶 B型
    控溫精度 ±1℃
    管尺寸 80 x 1400mm(可根據客戶需求定制)
    材質:氧化鋁
    溫度控制 PID自動控制
    溫控方式 30段可編程
    真空計 復合真空計
    真空法蘭 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭
    真空泵系統 真空泵組Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    (旋片泵+擴散泵)Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    包括 KF25、KF50 適配器、真空泵組波紋管和帶輪移動柜。
     Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    冷態極限真空6.67*10-3Pa。
    質量流量計(5氣路) 流量范圍 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
    準確性 ±1.5 % F.S.
    重復精度 ±1.5 % F.S.
    響應時間 ≦10sec
    工作壓差范圍 0.1~0.5MPa
    耐壓性 3MPa
    溫度系數 零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃
    工作環境溫度 5~45℃
    可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
    注意事項:
    1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
    2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
    3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
    4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
    售后服務
    • 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
    • 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
    • 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
    • 公司產品獲有歐盟CE質量認證
    免責聲明: 本站產品的介紹內容(包括產品圖片、產品介紹、技術參數等)主要用于產品宣傳,僅供參考。由于產品更新速度快,部分技術參數等內容可能會與實物有所偏差,請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議,或者想了解產品詳細信息及更多參數,請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,請勿將此參數用于招標文件或者合同,我們公司會不定期完善和更新網站信息,恕不另行通知,請您諒解。
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