詳細介紹:
產品特點:Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
1、 控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2、 中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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產品用途:Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
此款三溫區CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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產品詳情:
| 名稱 |
高溫三溫區CVD設備 |
| 型號 |
KJ-OTF-1700-F5 |
| 加熱系統 |
顯示 |
LED |
| 最高溫度 |
1700℃ |
| 工作溫度 |
≤1600℃ |
| 升溫速率 |
0~15℃/min |
| 溫區 |
3(可根據客戶需求定制) |
| 溫區長度 |
220mm(可根據客戶需求定制) |
| 加熱元件 |
MoSi2 棒 |
| 熱電偶 |
B型 |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 管尺寸 |
80 x 1400mm(可根據客戶需求定制) |
| 材質:氧化鋁 |
| 溫度控制 |
PID自動控制 |
| 溫控方式 |
30段可編程 |
| 真空計 |
復合真空計 |
| 真空法蘭 |
帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭 |
| 真空泵系統 |
真空泵組Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 (旋片泵+擴散泵)Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 包括 KF25、KF50 適配器、真空泵組波紋管和帶輪移動柜。 |
Dic管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 冷態極限真空6.67*10-3Pa。 |
| 質量流量計(5氣路) |
流量范圍 |
(20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
| 準確性 |
±1.5 % F.S. |
| 重復精度 |
±1.5 % F.S. |
| 響應時間 |
≦10sec |
| 工作壓差范圍 |
0.1~0.5MPa |
| 耐壓性 |
3MPa |
| 溫度系數 |
零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃ |
| 工作環境溫度 |
5~45℃ |
可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
注意事項:
1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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