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科研型擴散氧化爐

型號:KJ-T1300-LZ-10KS

簡要描述: 本設備為科研型擴散氧化爐，適用于企業研發、大學及科研院所的科研與教學。可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝。……

詳細介紹:

產品特點：
1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝
2、采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
3、具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態；
4、具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5、具有強大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間；
6、恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
7、具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能；
8、可根據用戶要求定制產品。

應用范圍：
本設備為科研型擴散氧化爐，適用于企業研發、大學及科研院所的科研與教學。可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝。

產品參數：

產品名稱	科研型擴散氧化爐
產品型號	KJ-T1300-LZ-10KS
工作溫度	1300℃
應用晶片尺寸	2~8英寸圓片
可配工藝管數量	1~2管/臺(可根據客戶需求定制)
恒溫區長度	300~600mm(可根據客戶需求定制)
恒溫區精度	≤±0.5℃
溫度穩定性	≤±0.5℃/24h
溫度斜變能力	最大升溫速率10℃/min，最大降溫速率5℃/min
預警	具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能
更多規格可根據要求來定制

可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。

注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
公司產品獲有歐盟CE質量認證

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