詳細(xì)介紹:
產(chǎn)品介紹：Syb管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達(dá)到1050度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空最高可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。Syb管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。Syb管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
Syb管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
應(yīng)用范圍：Syb管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
該設(shè)備主要用于石墨稀、納米材料工藝涂層、多晶硅、碳化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。Syb管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
Syb管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
產(chǎn)品參數(shù)：Syb管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
| 產(chǎn)品名稱 |
石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備 |
| 產(chǎn)品型號 |
KJ-T1050-CVD-LZ |
| 爐型結(jié)構(gòu) |
臥式、單管或多管系統(tǒng)自動控制 |
| 適應(yīng)晶片尺寸 |
50--200mm |
| 取片方式 |
自動懸臂石英推拉舟，配合手動取、放片 |
| 最高溫度 |
1050℃ |
| 極限真空度 |
優(yōu)于1Pa |
| 溫度穩(wěn)定性 |
400℃~850℃≦+-0.5℃/24h |
| 抽速 |
抽至極限真空時間15min左右 |
| 冷卻水 |
2~4KGF/c㎡,8L/min |
| 更多規(guī)格可根據(jù)需求定制 |
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。
注意事項：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；
3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的咨詢、維修服務(wù)
- 公司提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)，可提供技術(shù)人員上門服務(wù)
- 每臺爐子出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品
- 公司產(chǎn)品獲有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證
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