詳細介紹:
產品介紹：
此款大口徑CVD管式爐是一種具有60mm直徑石英管，真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統的可拆分管式爐。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。
產品用途：
廣泛用于各種反應溫度在1100℃左右的CVD實驗，也可用于：真空燒結、真空氣氛保護燒結、納米材料制備、電池材料制備等多研究領域。
產品參數：
| 型號 |
KJ-T1200-CVD-D |
| 顯示 |
液晶顯示屏 |
| 第一部分 |
| 爐膛 |
分體式和上部可以打開 |
| 最高工作溫度 |
1100°C |
| 加熱速率 |
建議：0?10℃/ min（最高20℃/ min） |
| 加熱溫區 |
500mm(可根據客戶需求定制) |
| 加熱元件 |
鉬電阻絲 |
| 溫度控制精度 |
±1℃ |
| 爐管尺寸 |
外徑200mm X長度1200mm(可根據客戶需求定制) |
| 溫度控制器 |
30段高精度數字可編程溫度控制器 |
| 第二部分混氣系統 七星華創 |
量程
MFC1 H2 0-200sccm 氫氣
MFC2 NH3 0-200sccm 氨氣 (D07-26C 即可，但是需要特殊要求耐氨的)
MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷（CS200A 硅烷專用流量計） |
LCD觸摸屏 |
| 第三部分 電阻硅真空計 |
| 第四部分 射頻電源 |
| 更多規格可根據需求定制 |
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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