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    六通道高真空PECVD系統
    • 六通道高真空PECVD系統

    六通道高真空PECVD系統

    型號:KJ-T1200-S60-6ZH-PE
    簡要描述:    六通道高真空PECVD系統是一款由等離子射頻電源,1200度管式爐,分子泵高真空,六通道氣路組成的等離子化學氣相沉積系統,此款PECVD系統可應用于納米材料生長,石墨烯生成及薄膜材料的制備……
    詳細介紹:
    產品介紹:zSw管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
        KJ-T1200-S60-6ZH-PE是一款由等離子射頻電源,1200度管式爐,分子泵高真空,六通道氣路組成的等離子化學氣相沉積系統,此款PECVD系統可應用于納米材料生長,石墨烯生成及薄膜材料的制備等領域。zSw管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    zSw管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    技術參數:
    產品名稱 六通道高真空PECVD系統
    管式爐部分
    產品型號 KJ-T1200-S60-6ZH-PE
    爐管尺寸 Φ60mmX1400mm(可根據客戶需求定制)
    爐管材質 石英管
    加熱區 400mm(可根據客戶需求定制)
    工作溫度 1100℃
    最高溫度 1200℃
    溫控方式 N型熱電偶
    控制方式 30段可編程序控溫
    控溫精度 ±1℃
    溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
    升溫速率 0-20ºC/min  ,建議10ºC/min
    加熱元件 含鉬電阻絲
    爐膛材料 氧化鋁多晶纖維
    選配 輔助降溫風扇
    冷卻方式 風冷
    售后服務 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)
    可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
    注意事項:
    1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
    2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
    3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
    4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
    售后服務
    • 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
    • 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
    • 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
    • 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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