詳細介紹:
產品用途：廣泛應用于多種薄膜的生長。BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
產品介紹：BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
定制PECVD系統，由真空立式管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、真空測量系統組成。 該系統以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。并具有以下特點： BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
技術參數：BP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐-0.1～0.15 MPa
| 產品名稱 |
定制PECVD系統 |
| 產品型號 |
KJ-PECVD-DZ |
| 立式管式爐 |
| 爐膛模式 |
立式開啟式 |
| 爐膛材料 |
進口氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 |
含鉬加熱絲 |
| 極限溫度 |
1200℃ |
| 工作溫度 |
≤1100℃ |
| 升溫速率 |
≤20℃(建議:15℃/min) |
| 加熱溫區 |
單溫區、多溫區（可根據客戶需求定制） |
| 溫區總長度 |
200、300、440（可根據客戶需求定制） |
| 爐管材質 |
高純石英 |
| 爐管直徑 |
40、50、60、80、100、120、150mm（可根據客戶需求定制） |
| 控制模式 |
觸屏 30段智能PID程序控溫 預留通訊接口 |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 溫度曲線 |
多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 測溫元件 |
N型熱電偶 |
| 氣路系統 |
| 氣體通道 |
可同時連接多種氣源 |
| 流 量 計 |
質量流量計 |
| 截止閥 |
不銹鋼材質 |
| 氣體連接管 |
1/4不銹鋼管 |
| 數顯真空計及連接件 |
| 數顯真空計 |
數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上或電控柜上 |
| 真空泵組(相關連接配件) |
| 真空泵 |
真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ |
| 汽化系統 |
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蠕動泵 |
準確度：+/- 0.5% FSBP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
流量: 0 - 10 ml/min，可調，最小速率0.1ml/minBP6管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
將吸液管放置在溶液容器中，蠕動泵可自動抽取液體 |
| 加熱＆控溫 |
流體和氣體會在一個不銹鋼罐中加熱， 不銹鋼出氣管處有二次加熱帶 |
| 氣體流量控制 |
氣體流速通過浮子流量計控制 |
| 售后服務 |
質保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍） |
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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