詳細介紹:
產品介紹：z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
KJ-T1200-S60-3ZPE設備是由觸屏管式爐、三路混氣氣路系統、進口真空系統、300w等離子電源系統組成，可用于石墨烯制備。z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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主要特點：z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
1、通過SE頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
3、可以通過SE頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
5、廣泛應用于：各種薄膜的生長。z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
技術參數：
| 產品名稱 |
混氣管式PECVD系統 |
| 型號 |
KJ-T1200-S60-3ZPE |
| 管式爐 |
最高工作溫度 |
1200℃ |
| 持續工作溫度 |
≤1100℃ |
| 加熱速率 |
最高20℃/min （建議10℃/min） |
| 加熱區長度 |
300mm 單溫區(可根據客戶需求定制) |
| 加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
| 熱電偶 |
N 型 |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 爐管尺寸 |
爐管直徑Φ50，Φ60，Φ80都可用(可根據客戶需求定制) |
| 材質: 高純石英 |
| 溫度控制器 |
PLC觸屏控制 |
| 真空法蘭 |
真空法蘭采用304不銹鋼制作z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥。z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 右端法蘭設計為KF25接口，配有擋板閥和兩個KF25卡箍z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
注：法蘭可選結構，標準螺絲法蘭，快接KF法蘭，鉸鏈法蘭z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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| 真空泵系統 |
真空泵 |
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采用真空泵，真空度達 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連；z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
進口數字式真空顯示計，其測量范圍為5×10-5- 1500mbar，測量精度可達0.1，測量不同氣體種類不需要系數轉換 |
觸屏質量流量計z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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三通道精密質量流量計：液晶觸摸屏控制，數字顯示，每路氣體控制均可在不同氣體中任意切換，無須人工換算；z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可調z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2.3個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制3種氣體；z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
3.進出氣口：3進1出z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
4.連接方式：雙卡套連接 |
| 注意事項 |
爐管內氣壓不可高于0.02MPaz0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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| 質保 |
一年質保期相關耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件z0z管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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