詳細介紹:
產品用途：jEZ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
此款帶有預熱系統的滑動PECVD系統對于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。jEZ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
jEZ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
產品介紹：jEZ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
該設備是一款帶有預熱系統的滑動PECVD系統。該系統包含等離子射頻電源，預熱爐，滑動式管式爐，4通道質量流量供氣系統和旋片泵組成。可用于生長納米或CVD方法來制作各種薄膜。jEZ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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技術參數：
| 產品名稱 |
帶預熱系統的滑動PECVD系統 |
| 滑軌管式爐部分 |
| 產品型號 |
KJ-T1200-S06LC-YR |
| 爐管尺寸 |
60*長度1600mmjEZ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
可選其他直徑Φ50，80，100，120，150mm(可根據客戶需求定制) |
| 爐管材質 |
石英管(可根據客戶需求定制) |
| 加熱區 |
雙溫區，每個溫區長度200mm(可根據客戶需求定制) |
| 工作溫度 |
1100℃ |
| 最高溫度 |
1200℃ |
| 溫控方式 |
N型熱電偶 |
| 控制方式 |
觸屏控制 |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 溫控保護 |
具有超溫和斷偶保護功能 |
| 升溫速率 |
0-20ºC/min可調 ，建議10ºC/min |
| 加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
| 爐膛材料 |
氧化鋁多晶纖維 |
| 爐體結構 |
爐體帶滑軌，可實現快速升溫和降溫 |
| 法蘭接頭 |
標配配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
| 密封系統 |
該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好。 |
| 預熱爐 |
| 主要參數 |
最高溫度1100度 ，多段程序控溫，可將固體和液體原料放在預熱爐中，氣化后與氣體原料相混合 |
| 真空系統部分 |
| 主要參數 |
采用機械，可實現爐管內的真空 |
| 氣路系統部分 |
| 名稱 |
四路質量流量計（量程可選） |
| 等離子電源部分 |
| 功率范圍 |
0-500W（連續可調） |
| 售后服務 |
質保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質保范圍） |
| 更多規格可根據客戶需求定制 |
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可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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