詳細(xì)介紹:
產(chǎn)品介紹：
KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)主要用于金屬粉末鍍膜中，可以旋轉(zhuǎn)傾斜。KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系統(tǒng)屬于PECVD系列的一種。C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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1200℃管式PECVD系統(tǒng)實(shí)拍圖C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
1、氣密性好C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
1200℃管式PECVD系統(tǒng)爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好，磁流體密封，保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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2、溫場(chǎng)均衡C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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3、可旋轉(zhuǎn)、傾斜C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
1200℃管式PECVD系統(tǒng)主要采用J-T1200旋轉(zhuǎn)管式爐，可傾斜可旋轉(zhuǎn)，可360度旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)（速度可調(diào)）；傾斜角0-15°（傾斜角可調(diào)）方便進(jìn)出料，并且路管內(nèi)設(shè)置有揚(yáng)料板，使材料在爐膛內(nèi)均勻受熱C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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4、溫控保護(hù)C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
具有超溫和斷偶保護(hù)功能C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 |
管式PECVD等離子氣相沉積系統(tǒng) |
| 旋轉(zhuǎn)管式爐部分 |
| 產(chǎn)品型號(hào) |
KJ-T1200 |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
660mm（220+220+220mm三溫區(qū)）(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 |
400mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 爐管材質(zhì) |
高純石英管（變徑管） |
| 爐管尺寸 |
變徑管C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
兩端尺寸OD:80mm* 400mmC6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
中間尺寸OD:150mm* 400mmC6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
總長(zhǎng)1200mm 爐管中間部分焊接揚(yáng)料板(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 工作溫度 |
≦1100℃ |
| 最高溫度 |
1200℃ |
| 測(cè)溫元件 |
N型熱電偶分別控溫 |
| 溫控系統(tǒng) |
7寸觸屏顯示，16段可儲(chǔ)藏曲線，30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制，能儲(chǔ)存和拷貝數(shù)據(jù) |
| 保溫溫控精度 |
±1℃ |
| 溫控保護(hù) |
具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
| 升溫速率 |
0-20ºC/min |
| 加熱元件 |
合金電阻絲 |
| 爐膛材料 |
采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡 |
| 法 蘭 |
水冷密封法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥，方便拆卸，放取材料 |
| 傾斜結(jié)構(gòu) |
可傾斜傾斜角0-15°（傾斜角可調(diào)）方便進(jìn)出料 |
| 旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) |
可 360 度旋轉(zhuǎn)，C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)（速度可調(diào)）C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
材料在爐膛內(nèi)均勻受熱 |
| 爐殼溫度 |
≤45℃ |
| 真空系統(tǒng)部分 |
| 名稱 |
分子泵組：C6E管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
旋片泵DRV16+分子泵FF-160/620 |
| 主要參數(shù) |
極限真空度6.7*10-3Pa（包含KF25接口、真空擋板閥和可移動(dòng)箱體） |
| 真空顯示 |
電容隔膜真空規(guī)，耐腐蝕，實(shí)時(shí)顯示真空度 |
| 真空顯示量程 |
其測(cè)量范圍為1×105--1×10-5pa |
| 旋轉(zhuǎn)密封 |
磁流體密封，保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空 |
| 氣路系統(tǒng)部分 |
| 名稱 |
三路質(zhì)量流量計(jì)(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 氣路 |
三路(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 流量控制 |
液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨(dú)控制，氣體流量自動(dòng)控制 |
| 進(jìn)出氣口 |
三進(jìn)一出，內(nèi)置精密混氣罐 |
| 鏈接方式 |
雙卡套接頭 |
| 流量范圍 |
MFC1-MFC3：0-10SLM（量程可選） |
| 控制精度 |
±1.5%F.S左右，量程不同，略有差別 |
| 工作環(huán)境溫度 |
5℃-45℃ |
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可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。
注意事項(xiàng)：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時(shí)，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對(duì)壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；
3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對(duì)樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對(duì)壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的咨詢、維修服務(wù)
- 公司提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)，可提供技術(shù)人員上門服務(wù)
- 每臺(tái)爐子出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品
- 公司產(chǎn)品獲有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證
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