詳細介紹:
產品介紹：
PECVD旋轉管式爐系統適用于粉體材料的表面薄膜沉積。系統由高功率射頻電源、真空系統、旋轉管式爐組成。利用等離子體特性來控制或影響氣相反應和材料表面的化學反應過程，并在適當的溫度下沉積薄膜。PECVD淀積的薄膜具有良好的電學性能、良好的襯底附著性以及不錯的臺階覆蓋性，正由于這些優點使其在大規模集成電路、光電器件、MEMS等領域具有廣泛的應用。屬于PECVD設備的一種。XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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PECVD旋轉管式爐實拍圖XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐產品優勢：
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等；XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2、PECVD工藝中由于等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應氣體分子，就會使中性反應氣體分子變成碎片或處于激活的狀態容易發生反應；XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
3、借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜；XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
4、真空系統由旋片真空和數顯真空計組成，冷態極限真空度可達10Pa；XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
5、采用快接法蘭密封，裝卸方便快捷；XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
6、加熱區域采用單溫區，加熱區200mm，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標較高。XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
7、爐管采用定制變徑爐管，管壁內帶有石英撥料臺，讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉，旋轉速度可調。XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
8、溫控系統采用PID智能化程序控溫，可以設置多段升降溫程序。XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
9、法蘭上帶有進出氣旋轉接頭，可以通入氮氣、氬氣等惰性保護氣體，可在氣氛環境下使用。XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
10、安全防護，具有超溫保護功能，當溫度超過允許設定值后，自動報警保護功能，操作安全可靠。XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
13、我司具有自行研發設計生產加工的能力，我們的機器提供終身配件更換和升級服務。XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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產品參數：
| 產品名稱 |
PE旋轉管式爐 |
| 產品型號 |
KJ-TX1100-S50LK1 |
| 爐膛材料 |
爐膛采用氧化鋁多晶纖維 |
| 爐管尺寸 |
兩端直徑約Φ30mm，中間尺寸Φ50mm 總長約1200mm(可根據客戶需求定制) |
| 加熱區 |
200mm(可根據客戶需求定制) |
| 爐管材質 |
石英爐管 |
| 工作溫度 |
≤1000℃ |
| 最高溫度 |
1100℃ |
| 加熱元件 |
合金加熱絲 |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 加熱速率 |
0-20℃/min， 建議10℃/min，可根據實驗工藝進行調節 |
| 溫度測試元件 |
N型熱電偶 |
| 控溫系統 |
采用智能化多段PID可編程控制Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有 PID 調節、自整定功能并可編制多段升降溫程序；Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
1、采用PID 方式調節控溫，可設置多段升降溫程序Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2、控溫精度±1ºCOvw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
3、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 密封方式 |
采用磁流體和真空法蘭的密封方式，密封效果更好 |
| 旋轉速率 |
15rpm/min 可調 |
| 旋轉結構 |
旋轉方式，爐管可以360℃旋轉，爐體可傾斜 |
| 真空系統 |
1、采用DRV-10旋片真空泵,冷態極限真空度可達10Pa，真空泵含粉塵過濾器Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2、KF快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連；Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
3、數顯真空計顯示 |
| 等離子電源系統 |
功率范圍 0-500W（連續可調）Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
工作頻率 13.56MHZ+0.005%Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
工作模式 連續輸出Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
射頻輸出阻抗接口 N-type,female（50Ω）Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
功率穩定度 ≤2WOvw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
最大反射功率 70WOvw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
電源保護設置 DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護Ovw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
供電電壓/頻率 單相交流（187V-253V）50-60HZOvw高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
冷卻方式 風冷 |
| 售后服務 |
12個月質保、終身保修（加熱元件、爐管等隨機贈送配件不屬于質保范圍） |
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PECVD等離子射頻XoJ管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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