詳細介紹:
產(chǎn)品介紹：dAE管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
管式PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。屬于PECVD的一種。dAE管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
產(chǎn)品功能和特點dAE管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
1、加熱元件采用摻鉬合金加熱絲，爐膛保溫保溫材料采用氧化鋁陶瓷纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節(jié)能效果明顯。dAE管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2、整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高達1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。dAE管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
3、爐膛采用節(jié)能材料制作，整機能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3，節(jié)能環(huán)保。dAE管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
4、爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表，爐子加熱狀態(tài)一目了。dAE管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
5、超溫報警并斷電，漏電保護，操作安全可靠具有多重防護功能。dAE管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
規(guī)格參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 |
管式PECVD系統(tǒng) |
| 滑道管式爐部分 |
| 產(chǎn)品型號 |
KJ-T1200 |
| 加熱區(qū)長度 |
300mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 爐管尺寸 |
直徑120*1600mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 工作溫度 |
≦1100℃ |
| 最高溫度 |
1200℃ |
| 測溫元件 |
N型熱電偶 |
| 溫控系統(tǒng) |
30段PID微電腦可編程自動控制 |
| 保溫溫控精度 |
±1℃ |
| 溫控保護 |
具有超溫和斷偶保護功能 |
| 升溫速率 |
0-20ºC/min |
| 加熱元件 |
高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo |
| 爐膛材料 |
采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
| 密封系統(tǒng) |
該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好 |
| 爐 管 |
高純石英管 |
| 法 蘭 |
304不銹鋼密封法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥，方便拆卸，放取材料 |
| 爐體結(jié)構(gòu) |
鍍Cr厚鋼板雙向滑軌，可實現(xiàn)管式爐移動，達到快速升溫和降溫 |
| 爐殼溫度 |
≤45℃ |
| 真空系統(tǒng)部分 |
| 名稱 |
DRV16旋片泵4L/S |
| 主要參數(shù) |
極限真空度10Pa（包含KF25接口、真空擋板閥和可移動箱體） |
| 真空顯示 |
電阻數(shù)顯真空計，顯示范圍標準大氣壓--10-1pa |
| 氣路系統(tǒng)部分 |
| 名稱 |
四路質(zhì)量流量計 |
| 氣路 |
四路(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 流量控制 |
數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制，氣體流量自動控制 |
| 進出氣口 |
四進一出，內(nèi)置精密混氣罐 |
| 鏈接方式 |
雙卡套接頭 |
| 流量范圍 |
MFC1-MFC4：0-500sccm（量程可選） |
| 控制精度 |
±1.5%F.S左右，量程不同，略有差別 |
| 工作環(huán)境溫度 |
5℃-45℃ |
| 等離子射頻器部分 |
| 名稱 |
射頻自動匹配器 |
| 正常工作反射功率 |
＜3W |
| 匹配時間 |
＜3S |
| 傳輸效率 |
＞90% |
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可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。
注意事項：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的咨詢、維修服務(wù)
- 公司提供免費的設(shè)備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術(shù)人員上門服務(wù)
- 每臺爐子出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品
- 公司產(chǎn)品獲有歐盟CE質(zhì)量認證
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