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ALD PECVD設(shè)備

型號(hào):KJ-PECVD-LM

簡(jiǎn)要描述: 該pecvd設(shè)備是由管式爐真空泵和六通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成的。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴(kuò)散。……

詳細(xì)介紹:

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
該pecvd設(shè)備是由管式爐真空泵和六通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成的。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴(kuò)散。屬于PECVD系列設(shè)備的一種。

技術(shù)參數(shù)：

參數(shù)		KJ-PECVD-LM
第一部分：標(biāo)準(zhǔn)件
管式爐	Display	觸摸屏
	連續(xù)工作溫度.	≤1100℃第一溫區(qū) ≤1100℃第二溫區(qū) ≤1600℃第三溫區(qū)
	升溫速率	建議: 0~10℃/min
	溫區(qū)	220mm+220mm+220mm(可根據(jù)客戶需求定制)
	加熱元件	硅碳棒和硅鉬棒
	熱電偶	N型和B型
	溫度控制精度	±1℃
	爐管尺寸	80x1600mm (OD x minimum L) Approx.(可根據(jù)客戶需求定制)
	爐管尺寸	材料：氧化鋁管
	溫度控制	通過SCR功率控制的PID自動(dòng)控制
	傾斜功能	0-15度（不建議在1100C溫度下使用傾斜功能，因?yàn)镸oSi2加熱元件可能容易損壞。高溫時(shí)會(huì)變軟，請(qǐng)注意。）
	加熱曲線	30步可編程
	真空法蘭	帶閥門的不銹鋼真空法蘭右側(cè)法蘭為滑動(dòng)式。法蘭應(yīng)為水冷式。
	冷卻方法	強(qiáng)制空氣冷卻
真空泵	分子泵系統(tǒng)	極限真空：6.7*10-5 Pa。包括數(shù)字真空計(jì)
質(zhì)量流量計(jì) （LCD觸摸屏）	六個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC精度為：±1.5%F.S。 MFC1 氬氣：氣體流量范圍取決于客戶的要求 MFC2 氮?dú)猓簹怏w流量范圍取決于客戶的要求 MFC3 氧氣：氣體流量范圍取決于客戶的要求 MFC4 二氫化二碳：氣體流量范圍取決于客戶的要求 MFC5 甲烷：氣體流量范圍取決于客戶的要求 MFC6 氫氣：氣體流量范圍取決于客戶的要求（以上流量范圍僅供參考，請(qǐng)?jiān)谟嗁徢按_認(rèn)氣體流量范圍。）底殼上安裝了一個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝了6個(gè)不銹鋼針閥，用于手動(dòng)控制6種類型的氣體混合。 MFC的液晶觸摸屏（由科佳設(shè)計(jì)，帶有科佳標(biāo)志）如下：
ALD閥門（此閥門不是由我們提供的）	兩個(gè)帶脈沖控制器的ALD閥（持續(xù)時(shí)間至少為10ms）并連接到觸摸屏
17MHZ超聲波霧化	配備1.7MHz超聲波霧化器，液體可霧化成液體顆粒并引入管式爐。 20VAC，1.7MHz超聲波霧化器 •液體罐標(biāo)配316不銹鋼，并用氟橡膠密封件密封； •霧化量可設(shè)置為1至8，霧化量可通過調(diào)整齒輪的大小來控制； •可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行霧化和常規(guī)運(yùn)行霧化兩種功能。正時(shí)可以從30分鐘調(diào)整到180分鐘（每30分鐘調(diào)整一次檔位）。
液體注入系統(tǒng)	•一套用于自動(dòng)液體供給的標(biāo)準(zhǔn)液體注入泵 •注射泵配有最大容量為60ml的塑料注射器，用于容納液體； •注射泵速度調(diào)節(jié)范圍： 0.004ml/min-70ml/min
水冷卻器	用于冷卻水冷法蘭和真空泵。

可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。

注意事項(xiàng)：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時(shí)，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對(duì)壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；
3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對(duì)樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對(duì)壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的咨詢、維修服務(wù)
公司提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)，可提供技術(shù)人員上門服務(wù)
每臺(tái)爐子出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品
公司產(chǎn)品獲有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證

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