詳細介紹:
主要用途：orh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
該定制高溫CVD系統主要用于TaC、HfC等物料及其復合碳化物等超高熔點涂層化學氣相沉積制備工藝研究。orh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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產品簡介：orh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
該系統以有高溫沉積室、升華室、供氣系統及真空系統組成。采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，智能控溫無需要人看守。爐膛用氧化鋁多晶纖維材料。爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封，密封法蘭上安裝有相關進氣口及出氣口。orh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
技術參數：
| 產品名稱 |
立式高溫CVD設備 |
| 沉積爐 |
| 產品型號 |
KJ-T1500CVD-DZ |
| 爐膛模式 |
開啟式 |
| 爐膛材料 |
氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 |
U型硅鉬棒 |
| 極限溫度 |
1600℃高溫區 |
| 工作溫度 |
≤1500℃高溫區 |
| 升溫速率 |
≤10℃/min |
| 加熱溫區 |
單溫區、雙溫區、多溫區(可根據客戶需求定制) |
| 溫區總長度 |
200、300、400mm(可根據客戶需求定制) |
| 爐管材質 |
剛玉管 |
| 爐管直徑 |
40、50、60、80、100mm(可根據客戶需求定制) |
| 密封方式 |
定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)orh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
底部法蘭有三個進氣口 方便進氣orh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
底部法蘭加支架 方便工件放在沉積爐低溫區 |
| 控制模式 |
每個溫區單獨 30段智能PID程序控溫 |
| 溫度曲線 |
多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 測溫元件 |
B型雙鉑銠熱電偶 |
| 供氣系統 集成在控制柜上 |
| 氣體通道 |
可同時連接多種氣源 |
| 流 量 計 |
浮子流量計 |
| A路量程 |
1L/MIN |
| B路量程 |
1L/MIN |
| C路量程 |
1L/MIN |
| 截止閥 |
不銹鋼材質 |
| 氣體連接管 |
1/4不銹鋼管 |
| 氣化爐A、B |
| 最高溫度 |
700 |
| 工作溫度 |
500 |
| 爐膛尺寸 |
定制 |
| 開門方式 |
側開 |
| 進氣口 |
一個進氣口 |
| 出氣口 |
一個出氣口 |
| 售后服務 |
12個月質保（易耗件及人為損壞除外），終身保修 |
| 更多規格可以按照要求來定制 |
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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