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    TEL:191-3809-6664
    定制流化床CVD系統
    • 定制流化床CVD系統

    定制流化床CVD系統

    型號:KJ-CVD-DZ
    簡要描述:    該立式CVD系統爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。……
    詳細介紹:
    結構組成:Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
        定制流化床CVD系統,由立式管式爐、供氣系統、真空系統、真空測量系統組成。Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    產品介紹:Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
        該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。  Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
    技術參數:
    產品名稱 定制流化床CVD系統
    產品型號 KJ-CVD-DZ
    立式管式爐
    爐膛模式 立式開啟式
    爐膛材料 進口氧化鋁耐火纖維
    加熱元件 優質硅碳棒
    極限溫度 1400℃
    工作溫度 ≤1300℃
    升溫速率 ≤20℃(建議:15℃/min)
    加熱溫區 單溫區、多溫區(可根據客戶需求定制)
    溫區總長度 200、300、440(可根據客戶需求定制)
    爐管材質 高純石英管、剛玉管
    爐管直徑 40、50、60、80、100mm(可根據客戶需求定制)
    控制模式 多段智能PID程序控溫  預留通訊接口
    控溫精度 ±1℃
    溫度曲線 多段"時間—溫度曲線"任意可設
    測溫元件 B型熱電偶
    氣路系統
    氣體通道 可同時連接多種氣源
    流 量 計 質量流量計
    A路量程   0~500SCCM
    B路量程  0~500SCCM
    C路量程   0~500SCCM
    截止閥 不銹鋼材質
    氣體連接管 1/4不銹鋼管
    數顯真空計及連接件
    數顯真空計   數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上或電控柜上
          真空泵組(相關連接配件)
    真空泵 真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ
    售后服務 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)
     更多規格可以按照要求來定制
    可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
    注意事項:
    1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
    2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
    3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
    4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
    售后服務
    • 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
    • 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
    • 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
    • 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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