詳細介紹:
結構組成:Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
定制流化床CVD系統,由立式管式爐、供氣系統、真空系統、真空測量系統組成。Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
產品介紹:Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。 Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
Veh管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
技術參數:
| 產品名稱 |
定制流化床CVD系統 |
| 產品型號 |
KJ-CVD-DZ |
| 立式管式爐 |
| 爐膛模式 |
立式開啟式 |
| 爐膛材料 |
進口氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 |
優質硅碳棒 |
| 極限溫度 |
1400℃ |
| 工作溫度 |
≤1300℃ |
| 升溫速率 |
≤20℃(建議:15℃/min) |
| 加熱溫區 |
單溫區、多溫區(可根據客戶需求定制) |
| 溫區總長度 |
200、300、440(可根據客戶需求定制) |
| 爐管材質 |
高純石英管、剛玉管 |
| 爐管直徑 |
40、50、60、80、100mm(可根據客戶需求定制) |
| 控制模式 |
多段智能PID程序控溫 預留通訊接口 |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 溫度曲線 |
多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 測溫元件 |
B型熱電偶 |
| 氣路系統 |
| 氣體通道 |
可同時連接多種氣源 |
| 流 量 計 |
質量流量計 |
| A路量程 |
0~500SCCM |
| B路量程 |
0~500SCCM |
| C路量程 |
0~500SCCM |
| 截止閥 |
不銹鋼材質 |
| 氣體連接管 |
1/4不銹鋼管 |
| 數顯真空計及連接件 |
| 數顯真空計 |
數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上或電控柜上 |
| 真空泵組(相關連接配件) |
| 真空泵 |
真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ |
| 售后服務 |
質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍) |
| 更多規格可以按照要求來定制 |
可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
注意事項:
1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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