詳細介紹:
產品簡介：enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
KJ-T1200-S60-PE（等離子體增強化學氣相沉積系統）由外徑60mm的滑道式管式爐，3路質量流量計系統，300W射頻電源系統和真空系統組成。enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
此款設備配有Plasma實現等離子增強，滑軌式設計在操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環境下，得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調裝置，可準確的控制反應腔體內部的氣體壓力，帶刻度的調節閥對于做低壓CVD非常簡單實用，工藝重復性好，對于石墨烯生長工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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主要用途：enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備，生長薄膜石墨烯、金屬薄膜、陶瓷薄膜、符合薄膜等，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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技術參數：
| 產品名稱 |
等離子體增強化學氣相沉積系統PECVD |
| 型號 |
KJ-T1200-S60-PE |
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爐體結構 |
滑軌式 |
| 最高工作溫度 |
1200℃ |
| 持續工作溫度 |
≤1100℃ |
| 加熱速率 |
最高20℃/min （建議10℃/min） |
| 加熱區長度 |
300mm 單溫區(可根據客戶需求定制) |
| 加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
| 熱電偶 |
N 型 |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 爐管尺寸 |
爐管直徑Φ50，Φ60，Φ80都可用(可根據客戶需求定制) |
| 材質: 高純石英 |
| 溫度控制器 |
PID智能程序控溫 |
| 真空法蘭 |
真空法蘭采用304不銹鋼制作enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥。enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 右端法蘭設計為KF25接口，配有擋板閥和兩個KF25卡箍enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
注：法蘭可選結構，標準螺絲法蘭，快接KF法蘭，鉸鏈法蘭 |
| 真空泵系統 |
旋片真空泵帶數字真空計enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
（包含KF25接口和可移動箱體） |
極限真空度 10-3 Torr.enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
爐管內真空度 10-2 Torr.抽速: 4CFM (2L/S, 120L/min) |
質量流量計enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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3路高精度質量流量計:enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
量程：enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC 1: 0-100 sccm enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC 2: 0-500 sccmenz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC 3: 0-1000 sccmenz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
底部安裝有一個混氣罐，左側安裝有3個不銹鋼針閥，可手動控制3種氣體的流量。 |
| 注意事項 |
爐管內氣壓不可高于0.02MPaenz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃enz管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
| 質保 |
一年質保期相關耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件 |
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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