詳細介紹:
產(chǎn)品介紹：3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
KJ-T1200-S60K3-3Z型CVD系統(tǒng)由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達到1200度,三溫區(qū)控制，極限真空可以達到10Pa，供氣系統(tǒng)采用精準的數(shù)顯三路質(zhì)量流量計，混氣路數(shù)3路相混合。3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
主要用途：該系統(tǒng)廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實驗，也可用于：真空燒結(jié)、真空氣氛保護燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多研究領(lǐng)域。3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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技術(shù)參數(shù)：
| 高溫爐殼體 |
采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃，內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度 |
| 加熱元件 |
合金電阻絲 |
| 最高溫度 |
1200℃ |
| 連續(xù)工作溫度 |
1100℃ |
| 升溫速率 |
最快20℃/min 建議10℃/min |
| 爐管材質(zhì)和尺寸 |
石英管: OD: 60mm x Length: 1000 mm (可根據(jù)客戶需求定制) |
| 加熱區(qū)長度 |
三溫區(qū)：220+220+220 mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 控溫系統(tǒng) |
PID30段程序化控溫 |
| 控溫精度 |
+/- 1 ℃ |
| 真空密封系統(tǒng) |
兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥） |
| 真空系統(tǒng) |
1.VRD-8旋片泵抽速2.2L/S3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
2.極限真空度：10Pa（包含KF25接口、高真空擋板閥和可移動箱體）3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
3.數(shù)顯真空計，實時顯示真空度，真空顯示范圍：1×105--1×10-1pa |
| 混氣系統(tǒng) |
三路精密質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制。3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC1 范圍: 0~500 sccm（可選）3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC2 范圍: 0~500 sccm（可選）3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC3 范圍: 0~500 sccm（可選）3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
氣路:3路3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
流量精度: 0.2%3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
進氣和出氣接口: 1/4" 卡套3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。3w7管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量。 |
| 售后服務(wù) |
質(zhì)保一年，終身保修（易損件除外） |
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。
注意事項：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的咨詢、維修服務(wù)
- 公司提供免費的設(shè)備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術(shù)人員上門服務(wù)
- 每臺爐子出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品
- 公司產(chǎn)品獲有歐盟CE質(zhì)量認證
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