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KJ-TCVD1100-S60CK2CVD系統主要由：1200度雙溫區滑道管式爐、高真空分子泵真空系統、6路質量流量計供氣系統及其它連接件等組成；可同時連接6種氣源，氣體流量采用觸屏6路質量流量控制器進行精確測量和控制。可以通過導軌左右滑動實現物料的快冷和快熱；主要用于大學，研究中心和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。點擊查看更多CVD電爐！
1200℃雙溫區滑道CVD管式爐實拍圖
1.該爐體采用上下“分-合”結構，易于取放爐管；
2.爐膛內部設計有對流柵格，爐體內部氣流容易形成上下對流循環，有利于爐溫平衡，溫場均勻。
3.整個爐體采用雙層內膽式結構，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高達1000℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
4.爐膛加熱元件呈圓周狀軸向均勻分布，并且發熱元件已做內嵌式固化，加熱時熱能輻射均勻溫和。
5.氣體流量采用觸屏6路質量流量控制器進行精確測量和控制。
6.高真空分子泵機組可對爐管進行快速置換氣體、實現管內高真空。
| 產品名稱 | CVD系統 |
| 型號 | KJ-TCVD1200-S60CK2 |
| 雙溫區滑道管式爐部分 | |
| 爐膛模式 | 開啟式 |
| 爐體滑動 | 可以通過導軌左右滑動實現物料的快冷和快熱 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 | 含鉬加熱絲 |
| 極限溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速率 | 建議:≤10℃min |
| 加熱溫區 | 雙溫區 |
| 溫區總長度 | 200+200mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 爐管材質 | 高純石英 |
| 爐管直徑 | 60mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 密封方式 | 不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) 其中一端用方便進出物料的快接法蘭，預留進氣品和出氣口 |
| 控制模式 | 多段智能PID程序控溫 |
| 測溫元件 | N型熱電偶 |
| 報警 | 有超溫和斷偶報警 |
| 供氣系統 KJ-6Z | |
| 最大氣壓 | 3*10-3Pa |
| 氣體通道 | 可同時連接6種氣源 質量流量計和混氣罐都安裝在移動箱體內 |
| 流 量 計 | 質量流量計(可選其他量程 不影響價格) |
| 氣路壓力 | -0.1～0.15 MPa |
| 截止閥 | 不銹鋼材質 |
| 氣體連接管 | 不銹鋼管 |
| 真空系統(含不銹鋼波紋管和相關連接配件) | |
| 真空泵+數顯真空計 | 分子泵機組及相應連接管件 底部安滑輪方便移動，上方可放置高溫爐極限真空度可實現6.67*10-3pa |
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