服務熱線
實驗室用的CVD（化學氣相沉積）電爐在材料制備、科學研究及新材料開發(fā)等領域發(fā)揮著重要作用。下面就來看看實驗室用的CVD電爐都有哪些特點吧！
比較常用的雙溫區(qū)實驗CVD電爐(點擊圖片查看產品詳情)
一、高溫性能
超高溫度：部分CVD電爐如1700度雙溫區(qū)CVD管式電爐，其加熱溫度可高達1700℃，能夠滿足各種對高溫有嚴苛要求的實驗和工藝需求。
均勻加熱：CVD電爐內部設計合理，確保爐內溫度分布均勻，有利于提高實驗效果和產品質量。
二、精確控制
獨立溫區(qū)：部分CVD電爐采用雙溫區(qū)設計，可實現(xiàn)兩個不同溫區(qū)的獨立控制，為復雜的實驗和工藝過程提供了更大的靈活性和可操作性。
精確控溫：配備精密的溫度控制器，可實現(xiàn)溫度的精確控制，某些型號的電爐精度可達±1℃，確保實驗的準確性和穩(wěn)定性。
三、氣體管理
多種生長模式：CVD系統(tǒng)兼容常壓、微正壓等多種主流的生長模式，可滿足不同實驗需求。
氣體輸送與激活：通過精確的氣體輸送系統(tǒng)，將反應氣體輸送到反應室中，并在高溫和可能的等離子體激勵下激活，使其化學活性增強。
四、高效沉積
高質量薄膜：CVD電爐能夠制備高質量、大面積的薄膜，如石墨烯等碳材料，尺寸可達數(shù)厘米。
沉積效率高：薄膜的成分準確可控，配比范圍大；厚度范圍廣，由幾百埃至數(shù)毫米，可以實現(xiàn)厚膜沉積且能大量生產。
五、廣泛適用性
應用領域廣：CVD電爐適用于多種CVD工藝及高溫實驗研究，如半導體制造、MEMS制造、光學和光電子領域等。
多功能性：除了用于CVD實驗外，還可用于真空燒結、真空保護氣氛燒結納米材料的制備以及電池材料的制備等研究領域。
六、穩(wěn)定可靠
高可靠性：爐管多采用高純材料（如高純石英管），兩端用不銹鋼高真空法蘭密封，確保氣密性和耐高溫性能。
穩(wěn)定運行：在高溫下能保持穩(wěn)定運行，減少誤差，提高實驗的準確性和可靠性。
總的來說，實驗室用的CVD電爐具有高溫性能、精確控制、氣體管理、高效沉積、廣泛適用性以及穩(wěn)定可靠等特點。這些特點使得CVD電爐在材料制備、科學研究及新材料開發(fā)等領域具有廣泛的應用前景。點擊了解更多CVD電爐！或者點擊咨詢在線客服定制各種不同型號電爐！
獲取報價
即刻留言 
添加微信咨詢報價