詳細介紹:
產品介紹：svC管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
該定制RTP化學氣相沉積系統是一款RTP (快速熱處理) 管式爐、二通道質量流量計系統及真空系統組成，專為半導體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達3"）退火而設計。 這款設備是采用紅外燈加熱，最快升溫速度是50℃/秒。 30 段準確溫度控制，RS485接口和控制軟件可以通過計算機控制爐子運行并顯示溫度曲線。svC管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
svC管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
技術參數：
| 產品名稱 |
RTP化學氣相沉積系統 |
| 型號 |
KJ-RTP-DZ |
| 第一部分： 管式爐 |
| 產品名稱 |
開啟式上下溫區RTP管式爐 |
| 溫度 |
最高1000度 |
| 控 制 器 |
LCD觸摸屏 |
| 爐管尺寸 |
石英管 外徑80mm/內徑72mm 單側開口 (可根據客戶需求定制) |
| 加熱區 |
300mm (可根據客戶需求定制) |
| 爐型 |
開啟式 |
| 加熱元件 |
鹵素燈加熱 |
| 升溫速率 |
30 C/秒 |
| 熱 電 偶 |
N 型熱電偶測物料處溫度 |
| 溫度控制器 |
30段高精度數字可編程溫度控制器 |
| 第二部分 混氣系統 |
| 量程 |
MFC1：氧氣（O2）0-200sccmsvC管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
MFC2：氬氣（Ar）0-200sccm |
| 第三部分 真空系統 |
| 1L/S +粉塵過濾器配套防腐數顯真空計 |
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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