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產品介紹:tyt管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
RTP紅外燈管加熱管式爐是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有石英腔體和真空法蘭,采用紅外燈管加熱,升溫速度可達50℃/秒,30段可編程序,PID自動控制,它是專為半導體或太陽能電池基片的退火而設計。tyt管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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應用領域:tyt管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
可在真空、氣氛環境下,對樣品進行快速熱處理,主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。tyt管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
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技術參數:
| RTP快速退火爐 |
| 型號 |
KJ-T1200RTP |
| 最高溫度 |
1000℃ |
| 工作溫度 |
900℃ |
| 爐管材質 |
石英管單頭 |
| 石英管 |
Φ50/Φ60/Φ80/Φ100/Φ120/Φ150mm 可選(可根據客戶需求定制) |
| 溫區長度 |
200/30/400mm 可選(可根據客戶需求定制) |
| 爐膛材料 |
氧化鋁多晶纖維 |
| 加熱元件 |
紅外燈管 |
| 升溫速率 |
0-50℃/S |
| 熱電偶 |
N型 |
| 密封方式 |
不銹鋼密封法蘭 |
| 爐膛結構 |
開啟式 |
| 滑動方式 |
左右滑動/不滑動可選 |
| 更多規格可按照需求定制 |
可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
注意事項:
1、設備爐膛溫度≥200℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;
2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.02MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;
3、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態;
4、在對樣品加熱時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),保修期滿后,仍提供終身的、優質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓,可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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