詳細(xì)介紹:
產(chǎn)品介紹：yvj管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐 該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。
yvj管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐yvj管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐產(chǎn)品參數(shù)： >
| 產(chǎn)品名稱 |
PECVD系統(tǒng) |
| 產(chǎn)品型號(hào) |
KJ-T1200-PE |
| 外殼 |
不銹鋼 |
| 內(nèi)襯 |
兩層氧化鋁纖維 |
| 加熱元件 |
電阻絲 |
| 最高溫度 |
1200°C (2 hour) |
| 工作溫度 |
1100 °C |
| 溫度均勻 |
±5°C |
| 最大加熱和冷卻速率 |
≤15 °C/min |
| 爐管尺寸 |
Φ200×1400mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 管材 |
優(yōu)質(zhì)石英管 |
| 加熱區(qū)大小 |
Φ200×300mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 密封 |
法蘭 |
| 溫度控制 |
30 個(gè)可編程段，用于準(zhǔn)確控制加熱速率、冷卻速率和停留時(shí)間。yvj管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
內(nèi)置 PID 自動(dòng)調(diào)諧功能，具有過熱和熱電偶斷路保護(hù)。yvj管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
過溫保護(hù)和警報(bào)允許在沒有服務(wù)人員的情況下進(jìn)行操作。yvj管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結(jié)爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
+/- 1 ºC 溫度精度。 |
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。
注意事項(xiàng)：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時(shí)，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對(duì)壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；
3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對(duì)樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對(duì)壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的咨詢、維修服務(wù)
- 公司提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)，可提供技術(shù)人員上門服務(wù)
- 每臺(tái)爐子出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品
- 公司產(chǎn)品獲有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證
免責(zé)聲明： 本站產(chǎn)品的介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品介紹、技術(shù)參數(shù)等）主要用于產(chǎn)品宣傳，僅供參考。由于產(chǎn)品更新速度快，部分技術(shù)參數(shù)等內(nèi)容可能會(huì)與實(shí)物有所偏差，請(qǐng)勿復(fù)制或者截圖。如果您對(duì)參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù)，請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，請(qǐng)勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同，我們公司會(huì)不定期完善和更新網(wǎng)站信息，恕不另行通知，請(qǐng)您諒解。
獲取報(bào)價(jià)
即刻留言 
添加微信咨詢報(bào)價(jià)