詳細介紹:
產品介紹：Oh1管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
大管徑PECVD系統是射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。Oh1管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
技術參數：
| 產品名稱 |
大管徑PECVD系統 |
| 滑軌管式爐部分 |
| 產品型號 |
KJ-T1200-S200-4ZH-PE |
| 爐管尺寸 |
Φ200mmX1200mm(可根據客戶需求定制) |
| 爐管材質 |
石英管 |
| 加熱區(qū) |
400mm(可根據客戶需求定制) |
| 工作溫度 |
1100℃ |
| 最高溫度 |
1200℃ |
| 溫控方式 |
N型熱電偶 |
| 控制方式 |
觸屏控制，可以根據實際使用需求，調節(jié)溫控屏的角度，使用更方便 |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 溫控保護 |
具有超溫和斷偶保護功能 |
| 升溫速率 |
0-20ºC/min ，建議10ºC/min |
| 加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
| 爐膛材料 |
氧化鋁多晶纖維 |
| 殼體 |
不銹鋼殼體 |
| 選配 |
輔助降溫風扇 |
| 氣路系統部分 |
| 冷卻方式 |
風冷 |
| 售后服務 |
質保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍） |
Oh1管式爐|箱式爐|氣氛爐|真空爐|真空燒結爐|真空釬焊爐-鄭州科佳電爐
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
- 公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的咨詢、維修服務
- 公司提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓，可提供技術人員上門服務
- 每臺爐子出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品
- 公司產品獲有歐盟CE質量認證
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