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真空釬焊爐從基本結構上分為冷壁真空爐和熱壁真空爐。熱壁真空爐結構簡單，多用于試驗，工業上采用的大部分均為冷壁真空爐。
冷壁真空爐按照結構、功能等又可以分為許多種類。按結構布置形式分為立式、臥式；按真空室數量分為單室、雙室和三室；按加熱元件材料類型分為金屬加熱體爐、石墨加熱體爐等；按冷卻方式分為無快冷功能爐、氣淬真空爐、油淬真空爐等。此外，真空爐還可以按使用功能、冷卻結構方式、真空度高低、溫度高低等分類，如鋁釬焊爐、外循環真空氣淬爐、超高真空釬焊爐等。
冷壁真空釬焊爐由真空爐體、真空系統、控制系統、加熱電源、水冷系統及快冷系統等組成。
冷壁真空爐的爐體主要由發熱元件、隔熱元件和水冷爐壁組成。發熱元件多由金屬鉬帶或鉬絲、鎢、鉭、鎳鉻、鐵鉻鋁等金屬電熱元件及石墨電熱元件制成。隔熱元件通常為由多層金屬薄片構成的反射屏結構及石墨氈或陶瓷氈結構，其功用為保持內部加熱區的高溫，并把熱量限制在加熱區內，保持爐壁較低的熱輸入，使爐壁在水冷作用下處于較低的溫度。
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